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音叉硅微机械振动陀螺粘性阻尼研究
一、音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究(论文文献综述)郝飞帆[1](2021)在《双层光栅面内检测的微陀螺工艺关键技术研究》文中研究说明微陀螺作为微惯性系统中的核心器件之一...