微机电系统论文

音叉硅微机械振动陀螺粘性阻尼研究

一、音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究（论文文献综述）郝飞帆[1]（2021）在《双层光栅面内检测的微陀螺工艺关键技术研究》文中研究说明微陀螺作为微惯性系统中的核心器件之一...